疲勞點蝕是精密行星減速機一種常見故障，疲勞點蝕開始直徑較小、較淺，且大多發生在節圓和節圓以下的地方，疲勞點蝕產生后，發展速度相當快，如果發現不及時，將導致齒輪大片剝落，將導致齒輪報廢，精密行星減速機也無法繼續使用。
1、精密行星減速機的傳動軸承使用超限或軸承與軸承座孔配合問隙過大，引起傳動軸承振動太大而引起載荷增大，造成齒輪傳遞負荷增大，也會造成齒面疲勞點蝕。
2、抓斗機精密行星減速機齒輪在安裝過程中，不嚴格執行檢修工藝，導致安裝不良，造成齒面局部接觸，負荷過大造成齒面疲勞點蝕。
3、精密行星減速機里的潤滑油過期或變質，粘度太低或失效，從而在齒輪的齒面之間不能形成油膜，這樣一來，齒與齒之間直接接觸造成齒面疲勞點蝕。